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純水作為實(shí)驗(yàn)室廣泛使用的一種溶劑，水質(zhì)的重要性已經(jīng)越來越為實(shí)驗(yàn)室工作人員所關(guān)注。
關(guān)于水中污染物的種類，大家已經(jīng)基本熟知，關(guān)于水質(zhì)的指標(biāo)，大家對(duì)于電阻率，TOC可能也不陌生，但要提到水中含氧量這個(gè)參數(shù)，大家卻不一定都了解。隨著技術(shù)發(fā)展以及對(duì)一些專業(yè)領(lǐng)域認(rèn)知的提升，水中含氧量其實(shí)已經(jīng)成為一個(gè)不容小覷的關(guān)鍵性參數(shù)。
通常，水中氣體雜質(zhì)為二氧化碳、氧氣、氮?dú)?、惰性氣體等，即便是通過超純水機(jī)層層純化，水中的氣體依然會(huì)存在殘留；并且由于超純水的高度溶解性，特別容易吸收環(huán)境中無處不在的氣體物質(zhì)，比如氧氣等。雖然在純水中氣體含量不高，但對(duì)于一些特殊應(yīng)用，純水中溶解氧指標(biāo)還是至關(guān)重要的。
溶解氧顧名思義就是溶解在水中的氧分子，通常用DO表示。溶解氧的飽和度和溫度、壓強(qiáng)有很大的關(guān)系，在25℃時(shí)，1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下，飽和溶解氧的濃度是8.25 mg/L。通常我們會(huì)使用溶氧儀檢測(cè)溶解氧濃度，檢測(cè)方法主要有兩種：電流測(cè)定法和熒光猝滅法。
廣受關(guān)注的半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域 ——芯片在光刻前需要清洗硅晶圓，去除污染物去除顆粒、減少針孔和其它缺陷，提高光刻膠黏附性。清洗使用的超純水中，溶氧過高影響芯片的氧化膜的厚度，進(jìn)而影響芯片的性能。美國材料協(xié)會(huì)對(duì)于電子和半導(dǎo)體工業(yè)所需要的純水給出了嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)，《ASTM D 5127-13, Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries》中對(duì)要求最高的Type E-1級(jí)純水的溶氧指標(biāo)進(jìn)行了規(guī)定。
水中溶解氧過高容易使管路內(nèi)及儲(chǔ)水箱等的純水滋生細(xì)菌，并帶來一系列的危害；其次，影響芯片的氧化膜的厚度，進(jìn)而影響芯片的性能。這就是為什么半導(dǎo)體芯片行業(yè)中對(duì)純水中的溶氧參數(shù)有特殊的要求。
作為電子信息產(chǎn)業(yè)支柱的芯片行業(yè)一直被稱為我國科技產(chǎn)業(yè)的軟肋，現(xiàn)在國家已經(jīng)正式出手，加大投資，助力中國芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。從目前的行業(yè)布局來看，未來這個(gè)領(lǐng)域挑戰(zhàn)與機(jī)遇并存，有巨大的發(fā)展?jié)摿?。相信隨著“中國芯"的爆發(fā)與突破，未來純水標(biāo)準(zhǔn)中關(guān)于溶氧指標(biāo)的相關(guān)規(guī)定一定會(huì)應(yīng)運(yùn)而生。
目前關(guān)于實(shí)驗(yàn)室純水規(guī)格及試驗(yàn)方法已經(jīng)出臺(tái)了很多的標(biāo)準(zhǔn) - 《GB/T 6682-2008 分析實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格和試驗(yàn)方法》；《GB/T 33087-2016 儀器分析用高純水規(guī)格及試驗(yàn)方法》， 《中國藥典》等，對(duì)于電阻率，總有機(jī)碳等指標(biāo)做了明確界定，但對(duì)于純水中溶解氧等氣體雜質(zhì)的含量要求卻鮮有涉及。隨著各行各業(yè)的深入發(fā)展，未來對(duì)實(shí)驗(yàn)室分析檢測(cè)的要求也會(huì)越來越細(xì)化，相信不久的將來，國內(nèi)的純水標(biāo)準(zhǔn)也會(huì)增加相關(guān)的項(xiàng)目。今后用戶要求的水質(zhì)報(bào)告，可能也不僅僅只是電阻率，TOC值，重金屬含量了，會(huì)要求越來越完善，溶氧度，pH……一份全面的水質(zhì)報(bào)告，才能讓用戶對(duì)自己的工作全面掌控。
目前國際上純水在線溶解氧檢測(cè)器的主要生產(chǎn)廠家包括梅特勒托利多（METTLER TOLEDO）和賽默飛（Thermo Fisher）。樂楓生物推出的Genie/Super-Genie系列純水系統(tǒng)，采用Linux操作系統(tǒng)，打造了一個(gè)開放式的平臺(tái)。通過1+N 模式，一臺(tái)水機(jī)可連N 個(gè)在線傳感器，比如溶氧測(cè)試、pH 計(jì)、濁度分析等，這些檢測(cè)數(shù)據(jù)可以傳輸并顯示在主控屏上，為用戶生成一份完整的水質(zhì)報(bào)告，同時(shí)還可降低企業(yè)設(shè)備更新或購買新設(shè)備的成本?？梢哉f，帶有前瞻性設(shè)計(jì)的Genie/Super-Genie純水機(jī)，適合實(shí)驗(yàn)室個(gè)性化和未來發(fā)展的需要，是可以自我進(jìn)化的純水設(shè)備。
關(guān)于樂楓生物
樂楓生物(Rephile Bioscience，Ltd.) 是多寧集團(tuán)下屬的一家專業(yè)從事水純化和實(shí)驗(yàn)室分離純化產(chǎn)品研發(fā)、設(shè)計(jì)和制造的企業(yè)，為高科技生物技術(shù)和生命科學(xué)領(lǐng)域的用戶服務(wù)。樂楓公司著眼于全球發(fā)展，在中國、美國、法國、印度、南非等近20個(gè)國家建立了銷售機(jī)構(gòu)，同時(shí)也為國際大型公司提供OEM和ODM，產(chǎn)品銷往包括歐美日韓等100多個(gè)國家，多所美國常春藤大學(xué)、哈佛醫(yī)學(xué)院丹娜法伯癌癥研究院，約翰霍普金斯大學(xué)醫(yī)學(xué)院和賓夕法尼亞大學(xué)醫(yī)學(xué)院都是樂楓純水設(shè)備的用戶。成立十余年，樂楓持續(xù)投入研發(fā)，創(chuàng)立出了自己的產(chǎn)品品牌RephiLe（瑞楓），推出了多個(gè)新概念產(chǎn)品 - 無線連接的Genie系列純水系統(tǒng)和智能型大流量純水工作站Super-Genie等。目前樂楓提供包括低鎂型，低硼型，ICP-MS專用型等適用于各種應(yīng)用的全范圍超純化柱系列，也提供多款密理博純水系統(tǒng)的兼容耗材，讓國產(chǎn)的品牌為用戶提供可與進(jìn)口產(chǎn)品媲美的服務(wù)。
